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5月张江实验室200mm硅光专项采购设备仪器11次超1亿元
发布时间: 2016.12.09

5月份,张江实验室(中国科学院上海高等研究院)硅光子市级重大专项200mm硅光中试平台拓展项目(以下简称“200mm硅光项目”)接连进行一系列公开采购招标,预算总金额达1.19亿元。采购内容主要为平台建设需要的半导体工艺设备及相关检测仪器,含多种显微镜及刻蚀、沉积设备等。

  截止发稿前,200mm硅光项目共进行了11次招标,且其中已有一次招标项目近日完成2194.8 万元的中标。预计,还将会有一系列招标发布。

  以下为11个招标项目信息整理列表:

招标项目

采购仪器/设备

数量

预算金额

开标时间

200mm硅光项目和成套工艺开发炉管等设备采购项目国际竞争性招标

氮化硅和氧化硅刻蚀设备、高温氮化硅介质膜热生长设备等

1

2216万元

0601

200mm硅光项目和成套工艺开发深紫外曝光设备等设备采购项目国际竞争性招标

晶圆涂胶和显影设备、深紫外线曝光设备

1

2640万元

0601

200mm硅光项目和成套工艺开发湿法刻蚀设备采购项目

晶圆片喷雾清洗设备、晶圆手动清洗设备、化学液供给设备

1

970万元

0604

200mm硅光项目和成套工艺开发硅刻蚀等设备采购项目国际竞争性招标重新招标

硅材料刻蚀设备、晶圆背面清洗设备

1

2710万元

0606

200mm硅光项目和成套工艺开发光学显微镜采购项目国际竞争性招标重新招标

光学显微镜

1

52万元

0608

200mm硅光项目和成套工艺开发机械真空泵采购项目国际竞争性招标重新招标

机械真空泵

1

260万元

0608

200mm硅光项目和成套工艺开发贴膜机采购项目国际竞争性招标重新招标

贴膜机

1

300万元

0611

200mm硅光项目和成套工艺开发本地尾气处理设备采购项目国际竞争性招标重新招标

本地尾气处理设备

1

500万元

0612

200mm硅光项目和成套工艺开发湿法刻蚀设备采购项目重新招标

晶圆片喷雾清洗设备、晶圆手动清洗设备、化学液供给设备

1

970万元

0611

200mm硅光项目和成套工艺开发干法去胶设备采购项目国际竞争性招标重新招标

干法去胶设备

1

325万元

0614

200mm硅光项目和成套工艺开发光刻后测量设备采购项目国际竞争性招标重新招标

光刻后层与层间对准精度测量设备、图形尺寸测量扫描电镜

1

950万元

0621

    附:招标相关信息

  项目联系方式:

  项目联系人:赵丽莉

  项目联系电话:86-21-62791919×135

  采购单位联系方式:

  采购单位:中国科学院上海高等研究院

  地址:上海市浦东新区海科路99号

  联系方式:黄雨辰、021-20325063